微型气流控制系统开发

半导体设备中常需要大量的微气流控制,但随着应用方式及应用区域的不同,必须更精准地设计整体控制系统,才能完整满足客户所需的生产状态。

设备耗材开发

产品出厂前必须完成各项模拟加严磨耗测试,确保出厂的产品绝对高于客户所需规格,客户零风险采用产品。

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